Induction Motor(비동기 모터)를 사용한 동기구동(리프트)
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승강, 주행, 회전 기능을 포함하는 진공챔버의 상부도어개폐장치
Induction Motor(비동기 모터)를 사용한 동기구동(주행) 적용장비
Induction Motor(비동기 모터)를 사용한 동기구동(주행) 적용장비
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크레인을 사용하여 진공챔버의 상부도어를 도킹한 후 승강과 회전하는 설비
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SJM4 4개연결
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SJC3 Vacuum Lid용 SEMES+삼성 생기원
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SJC5 Vacuum Lid용 CSOT 6G half 1.8톤
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SJC5 Vacuum Lid용 LGD 6G half VisionNox 8.6G half
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SJM4 LGD향
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SJM3 LGD향
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대면적OLED라인 Glass feed용 주행구동모듈
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대면적OLED라인 Beffer용 고속리프트 모듈
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반도체장비 구동모듈설계와 제어 lid open, Rotation, Shutter, Pin lift, Door seal
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OLED Cassette물류용 편하중용 리프트모듈 외
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OLED cluster용 진공설비용 도어개폐장치
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Flexible OLED 글래스 롤러 Aligning용 구동모듈
SJWDS54 : 더블디스크샤프트 장착하여 얼라이닝 조정시 비틀림이 덜 걸리도록 볼트 위치 변경이 가능하게 함
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리프트 구성 도면모음
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항만 트레일러 방사광스캔용 이동대차 구동모듈 및 방사광발생기 제어관련
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Table Lift (YOKOHAMA설치, SEMES향) 외
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